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關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備測試,看這一篇就夠了

 懶人葛優(yōu)癱 2019-03-20

來源:內(nèi)容來自「九鼎投資」,謝謝。

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半導(dǎo)體測試設(shè)備簡述

1.1 測試是貫穿半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的核心環(huán)節(jié)

半導(dǎo)體的生產(chǎn)流程包括晶圓制造和封裝測試,在這兩個環(huán)節(jié)中分別需要完成晶圓檢測(CP, Circuit Probing)和成品測試(FT, Final Test)。無論哪個環(huán)節(jié),要測試芯片的各項(xiàng)功能指標(biāo)均須完成兩個步驟:一是將芯片的引腳與測試機(jī)的功能模塊連接起來,二是通過測試機(jī)對芯片施加輸入信號,并檢測輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計要求。

圖1:半導(dǎo)體生產(chǎn)流程

資料來源:九鼎投資整理

測試環(huán)節(jié)通常由芯片設(shè)計公司委托晶圓廠、封測廠或者第三方測試公司(以下統(tǒng)稱測試公司)進(jìn)行,具體分為兩種商業(yè)模式:一是芯片設(shè)計公司根據(jù)產(chǎn)品類型、功能和設(shè)計要求等向測試公司指定特定測試設(shè)備進(jìn)行測試;二是如果芯片設(shè)計公司的產(chǎn)品屬于技術(shù)上比較成熟的領(lǐng)域,芯片設(shè)計公司會直接委托測試公司,由測試公司根據(jù)自身設(shè)備排產(chǎn)情況選擇相應(yīng)的測試設(shè)備進(jìn)行測試。因此,測試設(shè)備制造商在進(jìn)行產(chǎn)品開發(fā)和渠道拓展時需要兼顧設(shè)計公司和測試公司兩方的需求。

1.2 半導(dǎo)體測試的三大核心設(shè)備:測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺

半導(dǎo)體制造是人類迄今為止掌握的工業(yè)技術(shù)難度最高的生產(chǎn)環(huán)節(jié),是先進(jìn)制造領(lǐng)域皇冠上的一顆鉆石。隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,芯片線寬尺寸不斷減小,制造工序逐漸復(fù)雜。目前國際上7 nm制程已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段,需要近2000道工序,先進(jìn)的制程和復(fù)雜的工序?qū)⒊掷m(xù)提升對于先進(jìn)設(shè)備的需求。

晶圓制造環(huán)節(jié)設(shè)備包括光刻機(jī)、化學(xué)氣相淀積設(shè)備、物理氣相淀積設(shè)備、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、褪火設(shè)備、清洗設(shè)備等;封裝環(huán)節(jié)設(shè)備包括研磨減薄設(shè)備、切割設(shè)備、度量缺陷檢測設(shè)備、裝片機(jī)、引線鍵合設(shè)備、注塑機(jī)、切筋成型設(shè)備等;測試環(huán)節(jié)設(shè)備包括測試機(jī)(ATE,Automatic Test Equipment)、分選機(jī)(Handler)、探針臺(Wafer Prober)等。這些設(shè)備的制造需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),目前最先進(jìn)的設(shè)備已經(jīng)在進(jìn)行原子級別的制造,具有技術(shù)含量高、制造難度大、設(shè)備價值高等特點(diǎn)。

在測試設(shè)備中,測試機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺與分選機(jī)實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)功能模塊的連接。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試機(jī)和探針臺,成品測試環(huán)節(jié)需要使用測試機(jī)和分選機(jī),具體測試流程如下:

(1)晶圓檢測環(huán)節(jié)(CP)

晶圓檢測是指通過探針臺和測試機(jī)的配合使用,對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試,其測試過程為:探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置,芯片的Pad 點(diǎn)通過探針、專用連接線與測試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接,測試機(jī)對芯片施加輸入信號并采集輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計規(guī)范要求。測試結(jié)果通過通信接口傳送給探針臺,探針臺據(jù)此對芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記,形成晶圓的Map圖。

(2)成品測試環(huán)節(jié)(FT)

成品測試是指通過分選機(jī)和測試機(jī)的配合使用,對封裝完成后的芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試,其測試過程為:分選機(jī)將被測芯片逐個自動傳送至測試工位,被測芯片的引腳通過測試工位上的基座、專用連接線與測試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接,測試機(jī)對芯片施加輸入信號并采集輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計規(guī)范要求。測試結(jié)果通過通信接口傳送給分選機(jī),分選機(jī)據(jù)此對被測芯片進(jìn)行標(biāo)記、分選、收料或編帶。

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 行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢

2.1 全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步增長,中國市場發(fā)展強(qiáng)勁

隨著PC、手機(jī)、液晶電視等消費(fèi)類電子產(chǎn)品需求不斷增加,同時在以先進(jìn)制造、新能源汽車、物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能、云計算、大數(shù)據(jù)、新能源、醫(yī)療電子和安防電子等為主的新興應(yīng)用領(lǐng)域強(qiáng)勁需求的帶動下,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)增長。根據(jù)Gartner數(shù)據(jù),2017年在存儲器市場量價齊升的帶動下,全球半導(dǎo)體市場規(guī)模同比增長22.2%,達(dá)到4,197億美元,2007-2017年CAGR為3.95%,其中集成電路市場規(guī)模為3,402億美元,占比81.4%。隨著全球經(jīng)濟(jì)穩(wěn)步增長,預(yù)計未來全球半導(dǎo)體市場規(guī)模增速在6%以上。

圖2:2007-2017年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模及增速

數(shù)據(jù)來源:Gartner

2017年國內(nèi)集成電路市場規(guī)模為14,251億人民幣(折合2,069億美元),同比增長18.9%,占全球集成電路市場規(guī)模的60.8%,2007-2017年CAGR為8.82%(高于全球3.95%的水平),中國已經(jīng)成為全球最大的集成電路市場。隨著產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的加快調(diào)整,中國集成電路的需求將持續(xù)增長,預(yù)計未來幾年年均增速將達(dá)到10-15%,超過全球增長率。

圖3:2007-2017年中國集成電路市場規(guī)模及增速

數(shù)據(jù)來源:中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(CSIA)

注:中國統(tǒng)計口徑為集成電路,約占半導(dǎo)體市場規(guī)模的80%,其余20%為分立器件、光電子芯片及傳感器芯片。

2.2 全球半導(dǎo)體制造重心轉(zhuǎn)向中國,拉動國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展

全球半導(dǎo)體產(chǎn)能重心轉(zhuǎn)向中國大陸是大勢所趨。一方面,中國的市場需求大,但自給率低,供需不平衡;另一方面,中國制造成本較低,且隨著技術(shù)、人才、產(chǎn)業(yè)鏈資源不斷發(fā)展,已具備承接產(chǎn)能轉(zhuǎn)移的基礎(chǔ)。全球知名半導(dǎo)體企業(yè),如英特爾(Intel)、三星(Samsung)、SK海力士(SK Hynix)、臺積電(TSMC)、臺聯(lián)電(UMC)、格羅方德(Global Foundry)等已陸續(xù)或計劃在我國建設(shè)工廠或代工廠。根據(jù)SEMI發(fā)布的報告,2017-2020年間全球投產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓廠為62座,其中26座設(shè)于中國,占全球總數(shù)的42%。截至2017年年底,大陸地區(qū)12寸晶圓廠產(chǎn)能(按設(shè)計產(chǎn)能)為52.5萬片/月,約占全球產(chǎn)能的12%。根據(jù)業(yè)內(nèi)調(diào)研統(tǒng)計,2018~2020年中國大陸12寸、8寸晶圓廠建設(shè)投資將達(dá)7,228億元(其中內(nèi)資晶圓廠投資達(dá)5,303億元,占比73%),年均投資達(dá)2,409億元(其中內(nèi)資晶圓廠投資達(dá)1,768億元)。

表1:大陸正在建設(shè)中或規(guī)劃中的晶圓廠(8寸、12寸)

資料來源:九鼎投資整理(截止至2018年8月)

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求快速增長。SEMI在2018年年中SEMICON West展覽會上發(fā)布報告,2017年全球半導(dǎo)體設(shè)備支出達(dá)566.2億美元,同比增長37.3%,中國半導(dǎo)體設(shè)備支出82.3億美元,占全球的14.5%,預(yù)計到2019年,中國半導(dǎo)體設(shè)備支出將增長46.6%,達(dá)到173億美元,躋身世界榜首。

圖4:全球和中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模(單位:億美元)

數(shù)據(jù)來源:SEMI(國際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會),2018.6

2.3 中國封裝測試產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,拉動測試設(shè)備市場需求

根據(jù)WSTS數(shù)據(jù),2017年全球半導(dǎo)體封裝測試市場規(guī)模為529億美元,2011-2017年CAGR為2.2%。隨著全球半導(dǎo)體制造重心向國內(nèi)轉(zhuǎn)移,我國封裝測試市場的全球市場占有率逐年提升,從2011年31.2%提升至2017年52.0%。2017年國內(nèi)封裝測試市場規(guī)模為275億美元(折合1,890億人民幣),2011-2017年CAGR為9.9%,增速遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于全球,封裝測試已成為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最具國際競爭力的環(huán)節(jié)。

圖5:全球和中國半導(dǎo)體封裝測試市場規(guī)模(單位:億美元)

數(shù)據(jù)來源:全球數(shù)據(jù)來自WSTS,中國數(shù)據(jù)來自Wind(按1美元=6.88 人民幣計算),九鼎投資整理

受惠于政策資金的大力扶持,我國封測企業(yè)逐步開啟海內(nèi)外并購步伐,不斷擴(kuò)大公司規(guī)模。其中,長電科技聯(lián)合產(chǎn)業(yè)基金、芯電半導(dǎo)體收購新加坡封測廠星科金朋;華天科技收購美國FCI;通富微電聯(lián)合大基金收購AMD蘇州和檳城封測廠;晶方科技則購入英飛凌智瑞達(dá)部分資產(chǎn)。國內(nèi)封測廠商借助并購潮進(jìn)入了實(shí)力顯著提升的快車道,實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)超同行增長率的快速壯大,已經(jīng)成為了全球半導(dǎo)體封測行業(yè)的重要力量。全球前十大封測廠臺灣占據(jù)5家、中國3家(長電科技、華天科技、通富微電)、美國以及新加坡各1家。2017年長電科技、華天科技、通富微電三家封測廠銷售總額占全球OSAT總收入的19.1%,占全球封測市場總規(guī)模的9.8%。同時,隨著晶圓廠產(chǎn)能向中國大陸轉(zhuǎn)移,國內(nèi)封測廠陸續(xù)投入新產(chǎn)線以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的配套擴(kuò)張,預(yù)計未來五年內(nèi),中國大陸本土封測企業(yè)的銷售額占全球OSAT總銷售額的比例將提高至40%以上,成為全球封測設(shè)備銷售的最大市場。

表2:2018年部分封測產(chǎn)線規(guī)劃信息

資料來源:九鼎投資整理

2.4 全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)模達(dá)50.1億美元,中國成主力市場

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2015-2017年全球晶圓加工設(shè)備、測試設(shè)備、封裝設(shè)備以及其他設(shè)備三年累計銷售額占比分別為80%、9%、6%、5%。以此測算,2017年全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市規(guī)模為50.1億美元,其中,測試機(jī)、分選機(jī)和探針臺占比分別為65%、18%、17%。對應(yīng)的市場規(guī)模分別為33.1億美元、9.2億美元和7.8億美元。

測試機(jī)根據(jù)測試產(chǎn)品類型的不同可以分為SoC測試系統(tǒng)、存儲器測試系統(tǒng)、模擬測試系統(tǒng)、數(shù)字測試系統(tǒng)、RF測試系統(tǒng)等;分選機(jī)根據(jù)其工作原理的不同可以分為平移式分選機(jī)(Pick & Place)、重力式分選機(jī)(Gravity-feed)、轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)(Turret)等。下表整理了2017年全球半導(dǎo)體測試設(shè)備各細(xì)分領(lǐng)域市場規(guī)模。

表3:2017年全球半導(dǎo)體測試設(shè)備各細(xì)分領(lǐng)域市場規(guī)模

數(shù)據(jù)來源:測試機(jī)數(shù)據(jù)來自VLSI,分選機(jī)數(shù)據(jù)來自九鼎投資半導(dǎo)體團(tuán)隊調(diào)研整理

隨著2018-2020年中國大陸多家晶圓廠陸續(xù)投建及量產(chǎn),國內(nèi)封測廠將陸續(xù)投入新產(chǎn)線以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的配套擴(kuò)張,將帶動國內(nèi)半導(dǎo)體測試設(shè)備市場高速增長。根據(jù)九鼎投資市場調(diào)研分析,2017年國內(nèi)半導(dǎo)體測試設(shè)備市場約42億人民幣(不含存儲測試設(shè)備),預(yù)計2020年國內(nèi)半導(dǎo)體測試設(shè)備市場需求將達(dá)到80.6億人民幣(不含存儲測試設(shè)備)。

表4:2018-2020年中國半導(dǎo)體測試設(shè)備市場需求測算

數(shù)據(jù)來源:九鼎投資調(diào)研

2.5 并購成為半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)主旋律,市場集中度不斷提升

半導(dǎo)體測試設(shè)備屬于產(chǎn)品線非常豐富、細(xì)分領(lǐng)域較多的一個行業(yè),該領(lǐng)域自2000年以后出現(xiàn)了大規(guī)模的整合,全球主要參與者減少至5家左右。以全球領(lǐng)先的分選機(jī)企業(yè)科休(Cohu)為例,其在2008年和2013年分別收購Rasco(主要業(yè)務(wù)為重力式分選機(jī)和平移式分選機(jī))和ISMeca(主營業(yè)務(wù)為轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)),豐富了其在分選機(jī)領(lǐng)域全系列產(chǎn)品線;2017年Cohu分選機(jī)全球市場占有率21.5%;2018年5月Cohu收購全球第二大分選機(jī)企業(yè)科利登(Xcerra,主要業(yè)務(wù)為測試機(jī)和分選機(jī)),進(jìn)一步將其分選機(jī)的全球市場占有率提升至38.5%的同時,填補(bǔ)了其在測試機(jī)領(lǐng)域的空白。

下表整理了占全球半導(dǎo)體測試設(shè)備約80%市場份額的四巨頭泰瑞達(dá)(Teradyne)、愛德萬(Advantest)、科休(Cohu)和科利登(Xcerra)的并購史。

表5:全球半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)并購情況

資料來源:九鼎投資整理

鑒于全球半導(dǎo)體測試設(shè)備龍頭企業(yè)的發(fā)展歷史,國內(nèi)企業(yè)應(yīng)把握產(chǎn)業(yè)發(fā)展黃金窗口期,內(nèi)生、外延雙輪發(fā)力。目前國內(nèi)在一些細(xì)分領(lǐng)域已經(jīng)出現(xiàn)了優(yōu)秀的測試設(shè)備企業(yè),并取得了一定的技術(shù)突破,我們認(rèn)為未來五年內(nèi),較高的凈利率(20%左右)和較快的增長速度足以支撐一些細(xì)分領(lǐng)域優(yōu)秀的企業(yè)上市,預(yù)計未來國內(nèi)會出現(xiàn)5-10家在各自細(xì)分市場領(lǐng)先的測試設(shè)備企業(yè),通過并購最終形成2-3家國際領(lǐng)先的半導(dǎo)體測試設(shè)備企業(yè)。

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 行業(yè)競爭格局

3.1 測試機(jī):雙寡頭格局清晰,SoC成為重要戰(zhàn)略領(lǐng)域

2017年雙寡頭泰瑞達(dá)(Teradyne)、愛德萬(Advantest)測試機(jī)銷售額分別為13.7億美元、12.4億美元,全球市場占有率分別為41.4%、37.5%,其主要測試機(jī)產(chǎn)品為SoC和存儲器測試系統(tǒng)。

在SoC測試領(lǐng)域,1995年泰瑞達(dá)收購Megatest,通過Catalyst和Tiger測試系統(tǒng)成為SoC測試領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者,而愛德萬于2011年收購惠睿捷,使其在SoC測試領(lǐng)域迅速提升,2017年泰瑞達(dá)和愛德萬壟斷全球SoC測試機(jī)86.2%的市場份額。此外,科利登是除了泰瑞達(dá)和愛德萬以外極少數(shù)具備SoC測試機(jī)生產(chǎn)能力的企業(yè),該公司SoC測試系統(tǒng)產(chǎn)品包括X-Series系列、Diamond系列以及新推出的緊湊型的DxV SoC測試系統(tǒng),2017年測試機(jī)營收為1.56億美元,市占率為4.7%。

在存儲測試領(lǐng)域,由于80年代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由家電進(jìn)入PC時代催生了DRAM大量需求,日本在原有積累基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)DRAM大規(guī)模量產(chǎn),迅速取代美國成為DRAM主要供應(yīng)國,在此產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移背景下,愛德萬搶先布局存儲器測試領(lǐng)域,于1976年推出了全球首臺DRAM測試機(jī)T310/31,2017年愛德萬存儲器測試機(jī)全球市占率達(dá)到59.5%;由于韓國在存儲市場的壟斷地位,韓企Exicon、UniTest幾乎瓜分了剩余大部分的存儲測試機(jī)市場份額。

表6:全球主要測試機(jī)企業(yè)概況

資料來源:九鼎投資整理

本土企業(yè)通過多年的研發(fā)和積累在模擬/數(shù)模測試和分立器件測試領(lǐng)域已經(jīng)實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,基本完成國產(chǎn)化。其中華峰測控、長川科技、宏測半導(dǎo)體模擬/數(shù)?;旌蠝y試機(jī)年出貨量接近700臺,約占國內(nèi)模擬測試機(jī)市場份額的85%;聯(lián)動科技、Juno、宏邦電子分立器件測試機(jī)國內(nèi)市場總份額超過90%。而在SoC領(lǐng)域,本土企業(yè)還尚未形成成熟的產(chǎn)品和市場突破,主要原因有兩方面:1)SoC芯片集成了微處理器、模擬IP核、數(shù)字IP核以及存儲器控制接口等功能,不同模塊的頻率、電壓、測試原理均不同。同時,高度集成造成測試的數(shù)據(jù)量和時間成倍增長,測試功耗也是傳統(tǒng)測試項(xiàng)目的2~4倍,因此該類芯片的測試對測試機(jī)有更高的要求;2)數(shù)字測試模塊的核心技術(shù)依賴于Firmware(固件)與硬件系統(tǒng)的互相配合,涉及到結(jié)構(gòu)、算法、硬件設(shè)計多個領(lǐng)域技術(shù)的綜合運(yùn)用,本土企業(yè)無法通過簡單仿制進(jìn)行開發(fā),必須通過自主創(chuàng)新重新進(jìn)行整體系統(tǒng)設(shè)計,對相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)、經(jīng)驗(yàn)要求更高。

表7:本土測試機(jī)企業(yè)概況

資料來源:九鼎投資整理

SoC芯片的應(yīng)用推動了大量SoC測試機(jī)的需求,如手機(jī)芯片就是集成了CPU、GPU、基帶芯片(負(fù)責(zé)通訊)、圖像處理器(ISP)等的SoC。從過去10年的歷史發(fā)展來看,SoC測試系統(tǒng)占測試機(jī)的比例基本穩(wěn)定在60%以上,這也促使國外測試設(shè)備巨頭重點(diǎn)布局SoC測試領(lǐng)域。我們認(rèn)為,隨著本土優(yōu)秀團(tuán)隊的出現(xiàn)和技術(shù)的突破,SoC測試機(jī)會如同模擬/數(shù)模測試機(jī)和分立器件測試機(jī)逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,完成國產(chǎn)化。

3.2 分選機(jī):集中度相對分散,主要實(shí)現(xiàn)與測試機(jī)的配套

相較于測試機(jī),分選機(jī)的行業(yè)壁壘相對多樣化,其競爭優(yōu)勢側(cè)重有所不用。對于分選機(jī)企業(yè)來說,實(shí)現(xiàn)與測試機(jī)的良好配套,滿足多樣化產(chǎn)品的不同需求,以及形成良好的服務(wù)能力是分選機(jī)企業(yè)的核心競爭力,這也是形成行業(yè)較分散格局的重要原因。

2017年分選機(jī)全球排名前三的企業(yè)分別為科休、科利登和愛德萬,市場份額分別為21.5%、17.0%和14.0%。2018年5月科休收購科利登進(jìn)一步提升了全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市場集中度,至此形成了科休和愛德萬市占率分別為38.5%和14.0%的市場格局。在分選機(jī)細(xì)分領(lǐng)域,也出現(xiàn)了一些突出的企業(yè),如:韓國的Techwing是全球領(lǐng)先的存儲芯片測試分選機(jī)廠商,其在存儲芯片測試分選機(jī)領(lǐng)域的市占率超過50%;ASM在轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)領(lǐng)域的市占率為54%,Epson、Hontech在平移式分選機(jī)領(lǐng)域有較高的市場份額。

本土分選機(jī)企業(yè)主要有長川科技(重力式和平移式分選機(jī))、金海通(平移式分選機(jī))、上海中藝(重力式分選機(jī))、格朗瑞(轉(zhuǎn)塔式分選機(jī))等。而在各類分選機(jī)中,轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)國產(chǎn)自給率最低(約8%),主要原因?yàn)檗D(zhuǎn)塔式分選機(jī)是UPH(每小時分選芯片數(shù)量)最高的一類分選機(jī),在高速運(yùn)行下,既需保證重復(fù)定位精度,又需保證較低的Jam Rate(故障停機(jī)比率),這對分選機(jī)設(shè)備開發(fā)提出了更高的要求。

表8:本土分選機(jī)企業(yè)概況

資料來源:九鼎投資整理

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