真空鍍膜設(shè)備是一種利用真空蒸發(fā)技術(shù)、濺射技術(shù)等方法，在物體表面形成薄膜的裝置。真空鍍膜設(shè)備通常由真空室、加熱元件、蒸發(fā)源、拋物面反射鏡、樣品架等部分組成。通過(guò)控制真空室中的氣體成分、溫度、電壓等參數(shù)，可以使樣品表面被均勻地涂上薄膜，并且可以實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的鍍膜過(guò)程。真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料等領(lǐng)域，是制造高性能電子產(chǎn)品、光學(xué)器件、裝飾材料等方面不可或缺的重要工具。

根據(jù)反應(yīng)原理不同，真空鍍膜設(shè)備大致可分為PVD（物理氣相沉積）、CVD（化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）。雖然，真空鍍膜設(shè)備在不同應(yīng)用場(chǎng)景下呈現(xiàn)高度定制性，但總體而言，大致可分為真空形成系統(tǒng)、發(fā)射源與沉積系統(tǒng)、沉積環(huán)境控制系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)以及傳動(dòng)系統(tǒng)五大部分。

近年來(lái)，在國(guó)家高度重視前沿新材料應(yīng)用及淘汰落后產(chǎn)能的背景下，國(guó)務(wù)院、國(guó)家發(fā)改委及工信部等主管部門(mén)陸續(xù)出臺(tái)了一系列政策文件，大力支持真空鍍膜設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。2022年1月，甘肅省人民政府印發(fā)《甘肅省“十四五”制造業(yè)發(fā)展規(guī)劃》，提出要發(fā)展高性能真空獲得設(shè)備、高端數(shù)控真空鍍膜設(shè)備、大型智能化真空爐設(shè)備，以及生物醫(yī)藥、食品衛(wèi)生、航空航天、核工業(yè)材料等真空專用裝備，打造國(guó)內(nèi)真空裝備制造基地。2024年1月，山東省科學(xué)技術(shù)廳印發(fā)《關(guān)于推進(jìn)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)施方案》，提出要聚焦鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用鍍膜設(shè)備、涂布設(shè)備、激光設(shè)備、封裝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等裝備國(guó)產(chǎn)化替代，鼓勵(lì)設(shè)備制造單位和電池制備單位開(kāi)展協(xié)同攻關(guān)及應(yīng)用示范，力爭(zhēng)在原子層沉積設(shè)備、激光刻蝕機(jī)、高精度熒光視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)突破和替代，增強(qiáng)上下游協(xié)同適配能力，提升鈣鈦礦太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性。未來(lái)中國(guó)真空鍍膜設(shè)備在政策利好的背景下，行業(yè)發(fā)展前景廣闊。

真空鍍膜設(shè)備上游主要為原材料及零部件，包括真空室、加熱元件、蒸發(fā)源、拋物面反射鏡、樣品架等。產(chǎn)業(yè)鏈中游為真空鍍膜設(shè)備的制造。產(chǎn)業(yè)鏈下游為應(yīng)用領(lǐng)域，包括消費(fèi)電子、集成電路、電子元器件等。

隨著近年來(lái)我國(guó)居民消費(fèi)水平的不斷提升，對(duì)消費(fèi)電子產(chǎn)品的需求量也不斷增加，加上互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷發(fā)展，5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、虛擬現(xiàn)實(shí)等技術(shù)與消費(fèi)電子產(chǎn)品的融合，促進(jìn)了消費(fèi)電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代，進(jìn)一步促進(jìn)了我國(guó)消費(fèi)電子行業(yè)的發(fā)展。數(shù)據(jù)顯示，2023年我國(guó)消費(fèi)電子行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)19201億元，同比增長(zhǎng)2.96%。

在全球范圍內(nèi)，由于真空抽氣系統(tǒng)的發(fā)明，真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)步入了真正意義上的發(fā)展，20世紀(jì)上半葉主要是真空鍍膜設(shè)備制造初步發(fā)展階段，該階段真空鍍膜設(shè)備制造及其鍍膜工藝相對(duì)簡(jiǎn)單，以功能實(shí)現(xiàn)為目的，真空鍍膜技術(shù)及設(shè)備以蒸發(fā)鍍膜為主，濺射鍍膜和離子鍍膜技術(shù)尚未量產(chǎn)應(yīng)用，產(chǎn)業(yè)未形成規(guī)?；w系。20世紀(jì)后半段至今，真空鍍膜設(shè)備制造獲得了迅速發(fā)展，一是真空鍍膜技術(shù)的不斷補(bǔ)充和完善，濺射鍍膜技術(shù)以及離子鍍膜技術(shù)全面應(yīng)用于真空鍍膜，二是隨著半導(dǎo)體、微電子等產(chǎn)業(yè)的起步和發(fā)展，真空鍍膜被提升至產(chǎn)業(yè)化發(fā)展高度，其次是伴隨著應(yīng)用材料、日本光馳、德國(guó)萊寶等公司逐步發(fā)展壯大，真空鍍膜技術(shù)應(yīng)用被充分市場(chǎng)化，引領(lǐng)行業(yè)持續(xù)迅速發(fā)展。

真空鍍膜設(shè)備行業(yè)作為高端制造的基石，隨著半導(dǎo)體、新能源、電子元器件等產(chǎn)業(yè)崛起，將迎來(lái)快速發(fā)展機(jī)遇。數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)從2017年的256.22億元增加到2023年的558.39億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率超過(guò)13%。未來(lái)，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模將繼續(xù)保持高速增長(zhǎng)。

當(dāng)前我國(guó)真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)細(xì)分格局為包含了PVD鍍膜設(shè)備、CVD鍍膜設(shè)備、磁控濺射設(shè)備以及其他種類的真空鍍膜設(shè)備這四大類別，而在這個(gè)分類體系中，備受矚目的PVD鍍膜設(shè)備占據(jù)了市場(chǎng)份額的首要位置。

1、企業(yè)格局

在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，由于國(guó)外真空鍍膜設(shè)備行業(yè)起步時(shí)間較早，應(yīng)用材料、愛(ài)發(fā)科、德國(guó)萊寶等先進(jìn)企業(yè)憑借著自身的先發(fā)優(yōu)勢(shì)與大量投入的研發(fā)資金，處于全球真空鍍膜設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先地位，尤其是高端真空鍍膜設(shè)備市場(chǎng)占領(lǐng)這絕大部分的市場(chǎng)份額。不過(guò)，隨著國(guó)內(nèi)下游市場(chǎng)需求持續(xù)旺盛、政策支持及鍍膜設(shè)備制造行業(yè)上下游相關(guān)行業(yè)不斷發(fā)展壯大，越來(lái)越多具有技術(shù)先進(jìn)的本土企業(yè)進(jìn)入真空鍍膜設(shè)備行業(yè)，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)變得愈發(fā)激烈。

2、重點(diǎn)企業(yè)

深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司是一家國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的從事太陽(yáng)能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。主要產(chǎn)品包括濕法設(shè)備系列、真空設(shè)備系列、智能制造設(shè)備系列、光伏電池設(shè)備及工藝解決方案等。濕法設(shè)備主要產(chǎn)品包括單晶槽式制絨設(shè)備、槽式堿拋光清洗設(shè)備、槽式RCA清洗設(shè)備、鏈?zhǔn)饺SG/PSG清洗設(shè)備、HJT清洗制絨設(shè)備、全自動(dòng)制絨Plus清洗設(shè)備等。濕法設(shè)備主要用于晶體硅電池片生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)硅片進(jìn)行絨面腐蝕、拋光刻蝕、去繞鍍以及清洗處理。公司的濕法設(shè)備在行業(yè)中處于領(lǐng)先地位，廣泛應(yīng)用于光伏電池片各技術(shù)路線以及半導(dǎo)體領(lǐng)域。真空設(shè)備主要產(chǎn)品包括各類管式PECVD設(shè)備，板式PECVD、RPD、PVD、PAR設(shè)備等。管式設(shè)備主要用于晶體硅電池片生產(chǎn)過(guò)程中擴(kuò)散摻雜、氧化退火、薄膜沉積等工藝處理。板式設(shè)備主要用于HJT晶體硅電池本征及摻雜非晶硅薄膜、透明導(dǎo)電膜的制備，鈣鈦礦電池透明導(dǎo)電膜及導(dǎo)電層的制備。真空設(shè)備為各電池技術(shù)路線上的核心工藝設(shè)備。數(shù)據(jù)顯示，2023年捷佳偉創(chuàng)工藝設(shè)備營(yíng)收同比增長(zhǎng)42.26%至70.62億元；自動(dòng)化配套設(shè)備營(yíng)收同比增長(zhǎng)96.03%至11.37億元。

吉林奧來(lái)德光電材料股份有限公司主要從事OLED產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)中的有機(jī)發(fā)光材料的終端材料與蒸發(fā)源設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售及售后技術(shù)服務(wù)，其中有機(jī)發(fā)光材料為OLED面板制造的核心材料，蒸發(fā)源為OLED面板制造的關(guān)鍵設(shè)備蒸鍍機(jī)的核心組件。近年來(lái)，得益于深厚的技術(shù)積累，公司積極把握行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，敏銳捕捉客戶需求，在原有業(yè)務(wù)基礎(chǔ)上，圍繞上游核心材料領(lǐng)域的“卡脖子”產(chǎn)品封裝材料、PSPI材料等產(chǎn)品上進(jìn)行戰(zhàn)略性布局，已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線供貨；在設(shè)備領(lǐng)域，公司基于底層核心技術(shù)，穩(wěn)步推進(jìn)硅基OLED用蒸鍍機(jī)、鈣鈦礦蒸鍍機(jī)等高附加值產(chǎn)品，為公司打造新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)動(dòng)能。數(shù)據(jù)顯示，2023年奧來(lái)德蒸發(fā)源設(shè)備營(yíng)收為1.99億元。