潔凈室又被稱為無塵室或清凈室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。下面賢集網(wǎng)小編就來為大家介紹一下潔凈室的相關(guān)知識,包括:潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)、分類、基本構(gòu)成、防止交叉污染的方法、內(nèi)部管理制度、價格決定因素、送風(fēng)量的新風(fēng)量確定方法。希望這些知識點能夠幫助大家進(jìn)一步了解潔凈室! 潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn) 1、潔凈區(qū)的設(shè)計必須符合相應(yīng)的“靜態(tài)”標(biāo)準(zhǔn),以達(dá)到“動態(tài)”的潔凈要求。“靜態(tài)”是指安裝已經(jīng)完成并已運行,但沒有操作人員在場的狀態(tài)。而“動態(tài)”是指生產(chǎn)設(shè)施按預(yù)定工藝模式運行并有規(guī)定數(shù)量的操作人員現(xiàn)場操作的狀態(tài)。 2、生產(chǎn)操作全部結(jié)束,操作人員撤離生產(chǎn)現(xiàn)場并經(jīng)15~20 min(指導(dǎo)值)自凈后,潔凈區(qū)應(yīng)達(dá)到表中的“靜態(tài)”標(biāo)準(zhǔn)。藥品或敞開容器直接暴露環(huán)境微粒動態(tài)測試結(jié)果應(yīng)達(dá)到表中A級的標(biāo)準(zhǔn)。 3、無菌操作的隔離操作器所處環(huán)境的級別至少應(yīng)為D級。 4、為了確定A級區(qū)的級別,每個采樣點的采樣量不得少于1m3。A級區(qū)空氣塵埃粒子的級別為ISO 4.8,以≥0.5μm的塵粒為限度標(biāo)準(zhǔn)。B級區(qū)(靜態(tài))的空氣塵埃粒子的級別為ISO 5,同時包括表中兩種粒徑的塵粒。對于C級區(qū)(靜態(tài)和動態(tài))而言,空氣塵埃粒子的級別分別為ISO 7和ISO 8。對于D級區(qū)(靜態(tài))空氣塵埃粒子的級別為ISO 8。測試方法可參照ISO14644-1。 5、在確認(rèn)級別時,應(yīng)使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計數(shù)器,以避免在遠(yuǎn)程采樣系統(tǒng)長的采樣管中≥5.0μm塵粒的沉降。在單向流系統(tǒng)中,應(yīng)采用等動力學(xué)的取樣頭。 6、可在常規(guī)操作、培養(yǎng)基模擬灌裝過程中進(jìn)行測試,證明達(dá)到了動態(tài)的級別,但培養(yǎng)基模擬試驗要求在“最差狀況”下進(jìn)行動態(tài)測試。 潔凈室的分類 一、亂流式(TurbulentFlow): 即空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。其優(yōu)點是:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。 二、層流式(Laminar): 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1-100。其型式可分為二種: 1、水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 2、垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。 3、復(fù)合式(MixedType): 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。 ①潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:彈性擴(kuò)充容易;維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 ②潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 ③并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。另外還有潔凈工作臺和潔凈工作棚等。 潔凈室的基本構(gòu)成 潔凈室的一般構(gòu)成包括: 1、天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。 2、空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。 3、隔墻板(Partitionalwall):包括窗戶、門。 4、地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。 5、照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。 潔凈室防止交叉污染的方法 一、合理布局 1、對于室內(nèi)的布局,要根據(jù)合理的工藝流程來進(jìn)行布局,避免來回往返。合理布局既有利于工藝操作,也有利于空間的整合。潔凈室并不是越大越好的,送風(fēng)量是根據(jù)面積和空間大小來決定的,也決定了能耗。潔凈室的面積不能過大或者過小,不要有預(yù)留閑置的面積和空間,也不能太小影響操作、維修。 2、合理的布局是通過考慮設(shè)備大小、工藝操作的需求,生產(chǎn)區(qū)和儲存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積,用以安置設(shè)備、物料,便于操作和維修。一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設(shè)備可在局部加高,而不宜全面提高潔凈區(qū)的高度。車間內(nèi)部應(yīng)設(shè)有物料的中間站,其面積足以存放物料、中間產(chǎn)品、待驗品和成品,且便于明確分區(qū),以最大限度地減少差錯和交叉污染。 二、提高設(shè)備水平 設(shè)備的材質(zhì)、加工精度、密閉程度以及管理制度都與交叉污染有關(guān)。所以除了合理布局外,提高設(shè)備的自動化水平和組成聯(lián)動的生產(chǎn)線,以減少操作人員,降低人員的活動頻率,是防止交叉污染的必要措施。 潔凈室內(nèi)部管理制度 一、進(jìn)出潔凈室的管理 1、進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順序。退出潔凈室時,必須 按如上順序、路線進(jìn)行,不允許將潔凈用品帶出門廳。 2、若有吹淋室,必須按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時,嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī) 格和使用要求,控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù),不允許正在風(fēng)淋室強行關(guān)閉運行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過風(fēng)淋,人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60% 。 3、為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式,在作業(yè)區(qū)上流側(cè)不應(yīng)放置物品,回風(fēng)口附近不要堆放 物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品,生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺或氣流的上游進(jìn)行。 4、不允許將與生產(chǎn)無關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。 5、嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動。 6、進(jìn)入潔凈室前,個人物品須放入指定的柜子,去掉化妝和首飾,換上指定的潔凈服、 鞋。 7、戴帽時,應(yīng)將頭發(fā)全部遮住,鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。 8、脫潔凈工作服時,要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品,一般要由下至上脫去工 作服,并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所 9、退出潔凈室時,在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi), 仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。 10、退出潔凈室時,可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。 二、潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員管理 1、手是交叉污染的媒介,作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室內(nèi)均需洗手,不要用手觸及高凈化產(chǎn)品和 高凈化包裝材料等;對藥品生產(chǎn)作業(yè)人員還需進(jìn)行消毒處理。 2、不允許下列人員進(jìn)入潔凈室:感冒、咳嗽、濕疹等疾病患者;未按規(guī)定洗去化妝品、 指甲油和未穿潔凈工作服者;作業(yè)人員宜經(jīng)常洗頭、換衣、剪指甲。 3、作業(yè)人員在潔凈室內(nèi)工作時,動作要輕,嚴(yán)格執(zhí)行操作程序,不作易發(fā)塵的大幅度動 作,不要拖足行走,不做不必要的動作;不允許穿潔凈工作服上廁所。 4、在潔凈室內(nèi),要按要求戴手套,不要露出手腕,手套要經(jīng)常更換。 5、對進(jìn)入潔凈室人員要進(jìn)行相關(guān)的培訓(xùn)教育:掌握所在潔凈室特點、構(gòu)造、潔凈技術(shù)一 般知識,人員凈化程序及物料凈化路線要求,潔凈工作服的使用、清洗要求,潔凈室的清掃、清洗和消毒,潔凈室的安全設(shè)施及安全管理規(guī)定。 6、潔凈工作服應(yīng)選產(chǎn)塵量少,又能抗靜電的衣料制作,一般1~10 萬級潔凈室內(nèi)用分裝 型,100~1000 級的用連體型。潔凈鞋套最好使用一次性的,潔凈鞋要求是可洗滌式的。一般地,穿潔凈服的人在行走時,表面散發(fā)粒子數(shù)比穿普通衣服的人減小40—60 倍,故此點對高潔凈度廠房的維護(hù)管理十分重要。 7、潔凈工作服要有專人管理,定期檢查,清洗。一般每周清洗一次,通常清洗50~100 次 后應(yīng)檢查確定是否報廢。 8、潔凈室內(nèi)的“5S”運作需確保隨時性和持續(xù)性,并由現(xiàn)場管理人員執(zhí)行區(qū)域化定位管理。 潔凈室價格決定因素 1、換氣次數(shù) 房間內(nèi)污染物的比率和實際微粒產(chǎn)生情況,是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要因素。在生產(chǎn)過程中,不對其他因素產(chǎn)生任何影響的情況下,清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環(huán)空氣數(shù)量的因素是:房間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備的位置、設(shè)備表面溫度、空氣對流、氣流類型、操作空間和規(guī)章、使用的材料和化學(xué)藥品等。 2、單向的、紊流的、垂直或水平氣流 在許多案例中,單向氣流只在小空間和潔凈室的敏感區(qū)域內(nèi)使用,并且使用微環(huán)境。污染物的源頭可能存在于手套箱、過濾模塊等地方。多數(shù)設(shè)計為整體單向氣流潔凈室外的方案,只有在這些區(qū)域中沒有作業(yè)者、生產(chǎn)設(shè)備和排風(fēng)裝置時才能實現(xiàn)單向氣流。垂直或水平氣流的選擇,取決于房間的結(jié)構(gòu)和設(shè)備的安放位置,紊流就可以將污染物帶走。 3、空氣過濾 根據(jù)潔凈室外的用途,也可以選擇其他的設(shè)備,例如,在循環(huán)風(fēng)加新風(fēng)處理系統(tǒng)中,使用HEPA過濾器用碳吸附或相似功能的合成過濾器處理VOC,靜電過濾箱,等等。在潔凈室市場上,風(fēng)機(jī)過濾不再是新產(chǎn)品,正確的應(yīng)用它可以為許多高水平潔凈室提供卓越的、經(jīng)濟(jì)的解決方案,尤其是在吊頂高度有限的建筑內(nèi)。 4、空氣處理器 新風(fēng)處理空調(diào)箱為潔凈室提供必需的新風(fēng)。多重循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱通過送風(fēng)管,再經(jīng)過ULPA過濾器或HEPA過濾器,將空氣送入潔凈室,在潔凈度等級為10級和1級的潔凈間的吊頂上,這些過濾器通常是100%覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔凈間,穿過帶孔的架空地板磚進(jìn)入地板下面的回風(fēng)空間,再通過垂直回風(fēng)夾道向上進(jìn)入吊頂回風(fēng)靜壓箱。然后,空氣再次進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱,以上的空氣循環(huán)再次重復(fù)。 5、空氣壓差 潔凈室增壓是必須的,它的作用是確保潔凈室遠(yuǎn)離其臨近區(qū)域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同區(qū)域間的交叉污染,并幫助保持所要求的溫度和濕度水平。潔凈室與相關(guān)走廊、設(shè)施內(nèi)的其他區(qū)域的壓差應(yīng)維持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之間。一般制藥企業(yè)所要求的壓差值比這更高,在不同區(qū)域之間采用層疊壓差來避免交叉污染。在不同的區(qū)域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴(kuò)散的正壓門,從而產(chǎn)生壓差。 6、溫度控制 溫度和濕度的變化能夠引起生產(chǎn)設(shè)備的誤差,從而影響生產(chǎn)過程的可重復(fù)性,最終導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低、增加浪費。因此,潔凈室對溫度嚴(yán)格控制要求是顯而易見的,這項花費是必須的。通常情況下,要求工程師在設(shè)計時降低施工費用,同時要求在很大區(qū)域內(nèi)對溫度進(jìn)行精確的控制,如果對潔凈室內(nèi)的暖通、動力專業(yè)裝置和控制系統(tǒng)有嚴(yán)格要求,在每個潔凈室區(qū)域內(nèi),有局部自動調(diào)溫器來控制設(shè)計溫度。它能驅(qū)動安裝在風(fēng)管上的局部再熱或再冷盤管工作,來滿足房間內(nèi)的濕熱的要求。 7、濕度控制 每個潔凈室內(nèi)的相對濕度,通過局部濕度調(diào)節(jié)器來進(jìn)行控制。當(dāng)必須滿足精確的濕度控制時,通常利用空調(diào)箱中的新風(fēng)的絕熱增濕效果來實現(xiàn),濕度水平的局部變動可以通過超聲波濕度調(diào)節(jié)器進(jìn)行控制,該調(diào)節(jié)器位于最終過濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。 8、排風(fēng)系統(tǒng) 優(yōu)質(zhì)的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至最低,因此,在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風(fēng)量增加的潛在需求、擴(kuò)大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟(jì)價值之間的平衡是十分重要的。 9、空氣和物體表面的靜電荷 “靜電”是由于兩個獨立的表面相互接觸而產(chǎn)生的。不同表面產(chǎn)生的電荷,如果不能以足夠快的速度傳導(dǎo)到地面,那么它們會聚集并散布在材料的表面----這就是“靜電”。工業(yè)范圍很多區(qū)域內(nèi)殘余的靜電荷,會造成危險并引發(fā)問題。它能引起易燃?xì)怏w的燃燒和人體觸電。它能使薄的薄膜和輕纖維粘連、吸附空氣中的塵埃和碎片、損害半導(dǎo)體設(shè)備和干擾微電子設(shè)備的運行。避免因靜電放電對微電子系統(tǒng)產(chǎn)生影響的最基本的方法是,將設(shè)備安放在良好的靜電和磁場屏蔽場所內(nèi),恰當(dāng)減少所有的輸入和輸出連接。 10、形式和功能 潔凈室的嚴(yán)格清潔要求與它固有的高生產(chǎn)成本相關(guān)。然而,如果事先計劃好,可以大大降低成本: ①精確定義潔凈室級別,滿足工藝要求。 ②精確定義潔凈室空氣溫度和濕度,滿足工藝要求。 ③潔凈室外的排風(fēng)量應(yīng)滿足工藝的最低要求,一開始就進(jìn)行排風(fēng)管理程序。 ④通過確定設(shè)備風(fēng)速的最大值和最小值,來降低風(fēng)管和管道的壓降,在施工整個過程中貫徹這些指導(dǎo)方針。 潔凈室的送風(fēng)量的新風(fēng)量確定方法 一、潔凈工程中滿足衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量分兩種情況: 1、對于車間內(nèi)存在的有害氣體發(fā)生的情況,應(yīng)該根據(jù)車間內(nèi)所含有害氣體的允許濃度來計算稀釋室內(nèi)有害氣俸的新風(fēng)量。 2、對于車間內(nèi)沒有明顯有害氣體發(fā)生的情況,根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定,保證凈化車間供給潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量不小于40m3/ (h-人)。 二、補償潔凈室內(nèi)排風(fēng)和保持潔凈室正壓所需新風(fēng)量: 1、《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073-2001)規(guī)定:新風(fēng)量取滿足衛(wèi)生要求和保持室內(nèi)正壓(同時保證局部排風(fēng))兩項之中的最大值。為了防止外界環(huán)境空氣(含有害氣體的空氣)進(jìn)入潔凈室內(nèi),干擾車間的溫度、濕度,破壞車間內(nèi)的清潔度,需要在空調(diào)系統(tǒng)中用一定量的新風(fēng)來保持車間、廠房的正壓。當(dāng)系統(tǒng)中的送、回風(fēng)系統(tǒng)調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)到送風(fēng)量大于車間回風(fēng)量時,車間內(nèi)即呈正壓狀態(tài),而送、回風(fēng)量差(即需補充的新風(fēng)量)就通過門窗的不嚴(yán)密處(包括門的開啟)滲出。潔凈室潔凈工程中的正壓值正好相當(dāng)于空氣從縫隙滲出時的阻力。 2、一般情況下,室內(nèi)正壓在5~ lOPa之間即可滿足要求,如果正壓過大不但沒有必要,而且還降低了系統(tǒng)運行的經(jīng)濟(jì)性。在凈化車間工程中當(dāng)潔凈室內(nèi)有排風(fēng)柜等局部排風(fēng)裝置時,為了不使?jié)崈羰覂?nèi)產(chǎn)生負(fù)壓并保持正壓,在系統(tǒng)中必須有相應(yīng)的新風(fēng)量來補充排風(fēng)量,排風(fēng)量可根據(jù)排風(fēng)罩口的面積和罩口排風(fēng)風(fēng)速確定。潔凈室新風(fēng)量的計算方法在凈化車間工程中占據(jù)很高的重要性。所以我們一定要方方面面的注意細(xì)節(jié)問題,為工作在生產(chǎn)車間的工作人員打造一個全新的潔凈空間,從而也進(jìn)一步提高了工作效率,促進(jìn)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展。 三、為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量: 根據(jù)熱、濕負(fù)荷計算確定的送風(fēng)量。向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量?!稘崈魪S房設(shè)計規(guī)范》(GB50073-2001)規(guī)定:潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取上面三項中的最大值。 通過小編為大家介紹的潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)、分類、基本構(gòu)成、防止交叉污染的方法、內(nèi)部管理制度、價格決定因素、送風(fēng)量的新風(fēng)量確定方法。相信大家對潔凈室也有一些了解了!從目前我國潔凈室行業(yè)市場發(fā)展來看,電子信息、航空航天、精密儀器、醫(yī)藥衛(wèi)生等行業(yè)的持續(xù)增長,極大地推動了潔凈室的市場需求,進(jìn)而帶動潔凈室工程行業(yè)的大發(fā)展。根據(jù)中國電子學(xué)會綜合測算,2007年中國潔凈室工程行業(yè)整體市場規(guī)模為 217.14 億元,盡管其間受 2008 年全球金融危機(jī)的影響,部分行業(yè)需求下降,波及到潔凈室工程行業(yè),但 2009 年下半年起,受國家發(fā)布電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整和振興規(guī)劃、電子信息產(chǎn)品市場需求釋放等因素的影響,行業(yè)對潔凈室的需求迅速恢復(fù),使?jié)崈羰夜こ绦袠I(yè)市場回暖。截止到2017年整個潔凈室工程行業(yè)市場規(guī)模達(dá)到787.77 億元。 文章轉(zhuǎn)載至:半導(dǎo)體圈子
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